Ņemot vērā elektronu kūļa litogrāfijas sistēmu un vērsta jonu frēzēšanas sistēmas, gan ar normālu staru izmēru 30nm. Kuru metodi radītu mazāku funkciju? Ir gan tas pats? Kāpēc un kāpēc gan ne?
This site uses cookies to help personalise content, tailor your experience and to keep you logged in if you register.
By continuing to use this site, you are consenting to our use of cookies.
