elektronstaru kūļa litogrāfijas un mērķtiecīgu jonu staru malšanas sis.

E

earnie

Guest
Ņemot vērā elektronu kūļa litogrāfijas sistēmu un koncentrēta jonu frēzēšana sistēmu, gan ar normālu staru izmēru 30nm.Kas tehniku radītu mazāku funkciju?Abi ir vienādi?Kāpēc un kāpēc ne?

 

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top